無塵室也稱潔凈室，是指一個具有低污染水平的環(huán)境，這里所指的污染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學揮發(fā)性氣體。更準確地講，一個凈室具有一個受控的污染級別，污染級別可用每立方米的顆粒數(shù)，或者用大顆粒大小來厘定的。低級別的凈室通常是沒有經(jīng)過消毒的（如沒有受控的微生物），更多的是關心空氣傳播的灰塵。

     無塵室的定義：空間范圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個相當潔凈的環(huán)境。亦即：這個環(huán)境中的微塵粒子相當少，稱之為潔凈室。凈室被廣泛地應用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè)，例如半導體生產(chǎn)、生化技術、生物技術、精密機械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)等，其中以半導體業(yè)其對室內之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內，才不會對制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設施，凈室可以占據(jù)廠房很多位置。  

      無塵室系統(tǒng)制造符合規(guī)格之潔凈空氣，連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端，潔凈室內的制造區(qū)（FAB）。一般而言，制造潔凈空氣之氣源為外氣（OUTSIDE AIR），經(jīng)過潔凈室系統(tǒng)各種處理單元設備之處理后進而得到符合規(guī)格之潔凈空氣。以下簡單介紹其處理流程：外氣經(jīng)由外氣空調箱（Make-up Air Unit或MAU）初步過濾微塵（particle）并控制其溫濕度后，經(jīng)由回風管道間（Mech. Chase），將潔凈室之循環(huán)風量與外氣空調箱之補充風量混合，經(jīng)由冷卻盤管（Dry Cooling Coil）將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規(guī)格，通過循環(huán)風扇（Fan Filter Unit或FFU）帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)（Ultra-low penetration air或ULPA Filter）過濾后，供應至Fab區(qū)。